高速掃描電子顯微鏡

簡要描述：國儀量子高速掃描電子顯微鏡HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。
面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

產(chǎn)品型號：HEM6000
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2026-02-11
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掃描電子顯微鏡

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高速掃描電子顯微鏡 HEM6000

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

核心技術(shù)

高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

應(yīng)用領(lǐng)域

高速掃描電子顯微鏡應(yīng)用案例

大規(guī)模成像

高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率		1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
			2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
	加速電壓		100 V~6 kV(減速模式)
			6 kV~30 kV(非減速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	電子槍類型		高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
	物鏡類型		浸沒式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng)	真空系統(tǒng)		全自動控制，無油真空系統(tǒng)
	樣品監(jiān)控		樣品倉監(jiān)控水平攝像頭；換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭
	樣品最大尺寸		直徑4英寸
	樣品臺	類型	電機驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺）
		行程	X、Y軸：110mm； Z軸：28mm；
		重復(fù)定位精度	X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm；
	換樣方式		全自動控制
	換樣時間		＜15 min
	換樣倉清洗		全自動控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理	駐點時間		10 ns/pixel
	圖像采集速度		2*100 M pixel/s
	圖像大小		8K*8K
探測器和擴展	標(biāo)配		鏡筒內(nèi)混合電子探測器
	選配		低角度背散射電子探測器
			鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器
			壓電驅(qū)動樣品臺
			高分辨大場模式
			樣品倉等離子清洗系統(tǒng)
			6英寸樣品裝載系統(tǒng)
			主動減震臺
			AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件	語言		中文
	操作系統(tǒng)		Windows
	導(dǎo)航		光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
	自動功能		自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

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